半導(dǎo)體百級潔凈烘箱，芯片百級烤箱概述

半導(dǎo)體百級潔凈烘箱，芯片百級烤箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

特點(diǎn)

Ø  在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級達(dá)到Class 100；

Ø  全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機(jī)臺本身所產(chǎn)生微塵；

Ø  采用單面水平由后向前送風(fēng)熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)，風(fēng)源由循環(huán)馬達(dá)運(yùn)轉(zhuǎn)帶動風(fēng)輪經(jīng)電熱器，將熱風(fēng)由風(fēng)道送至烤箱內(nèi)部，且將使用后空氣吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán)加熱，省電節(jié)能溫度均勻性好，過濾效率99.99%，Class 100；

參數(shù)

Ø  進(jìn)風(fēng)口：φ6mmN2進(jìn)氣、流量計控制;

Ø  排風(fēng)口： φ3”排風(fēng)管（外接φ5＂法蘭）;       

Ø  電源：480v , 50Hz，15KW ，電源供應(yīng)器為UL/FM/CE或3C認(rèn)證，并有過

Ø  電流保護(hù)裝置；   

Ø  網(wǎng)板：5層，2mmt不銹鋼版加工四周內(nèi)向折成10mm的圓孔承托盤 , 單層

Ø  層載重量可需承重50kg；

Ø  潔凈度：100級的潔凈熱處理HEPA過濾器與前出風(fēng)水平層對流循環(huán)方式實(shí)

Ø  現(xiàn)并保證箱內(nèi)的溫度分布的均勻性與100級潔凈度。

溫度控制器

Ø  彩色觸摸屏控制器TEMI360

a)   控制器：彩色觸摸屏；

b)   顯示器：3.5英寸TFT彩色LCD顯示器；

c)   輸出方式：PID控制輸出；

d)   運(yùn)行方式：程序方式、定值方式；

e)   設(shè)定方式：中/英文菜單，觸摸屏方式輸入；