SECS / GEM通訊無氧烘箱，無氧烤箱 概述

SECS / GEM通訊無氧烘箱，無氧烤箱在工作時，工作室內充滿了惰性氣體CO2,N2,防止材料在烘烤時被氧化。無氧化烘箱在工業(yè)中的用途：IC包裝，LCD,晶體管，傳感器，二極管，石英晶體振蕩器，混合集成電路板……設備可以使用TCP / IP（使用HSMS標準，SEMI E37）或基于RS-232的協(xié)議與支持GEM的主機進行通信。通常這兩種協(xié)議都受支持。每臺設備都可以使用由GEM的通用SECS-II消息進行監(jiān)控和控制

技術參數(shù)

1.主要技術指標

Ø  含氧量：< 100ppm;

Ø  溫度范圍： RT（室溫）+10～ +200℃；

Ø  溫度均勻度：±1℃;

2.箱體結構

Ø  外殼材料：優(yōu)質冷軋板，表面磷化處理后平光漆（顏色米色）

Ø  內膽材料：優(yōu)質鏡面不銹鋼滿焊制作

Ø  隔   板：3層隔條配3層不銹鋼網版，每層承重50Kg

Ø  保溫材料：厚度90毫米硅酸鋁保溫棉，保溫性能良好

Ø  溫控裝置：智能LED雙數(shù)顯高精度溫度控制系統(tǒng)，控溫精度±1℃，溫度為室溫至300℃任意調節(jié)，并具有PID自整定，自動恒溫等功能

?特點

SECS / GEM是用于設備到主機數(shù)據(jù)通信的半導體設備接口協(xié)議。在自動化工廠中，接口可以啟動和停止設備處理，收集測量數(shù)據(jù)，更改變量并為產品選擇配方。 SECS（SEMI設備通信標準）/ GEM（通用設備模型）標準以確定的方式完成所有這些工作。