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HMDS烘箱原理，2-12寸晶圓預處理烘箱通過對烘箱 HMDS 預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間 等參數的編輯，可以在硅片、基片表面均勻涂布一層 HMDS，降低了 HMDS 處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量， 提高光刻膠與硅片的黏附性。

將HMDS涂到樣品表面后，經烘箱加溫可生成硅氧烷為主的化合物，將樣品表面由親水性變為疏水性，此疏水性能HMDS烘箱，hmds預處理烘箱夠很好的與光刻膠結合，增加了樣品表面與光刻膠的粘附作用。

HMDS烤箱機臺，HMDS預處理烘箱箱體外殼采用高級不銹鋼制作，內膽為316L醫用不銹鋼材料制成；加熱器均勻分布在內膽外壁四周，內膽內無任何電氣配件及易燃易爆裝置。鋼化、防彈雙層玻璃門觀察工作室內物體一目了然。

HMDS真空烘箱處理系統：性能更好，由于是在經過數次的氮氣置換再進行的HMDS處理，所以不會有塵埃的干擾，再者，由于該系統是將“去水烘烤“和HMDS處理放在同一道工藝，同一個容器中進行，晶片在容器里先經過100℃-160℃的去水烘烤，再接著進行HMDS處理，不需要從容器里傳出，而接觸到大氣，晶片吸收水分子的機會大大降低，所以有著更好的處理效果。

HMDS預處理烘箱價格：處理更加均勻,由于它是以蒸汽的形式涂布到晶片表面上，所以有液態涂布不可比擬更好的均勻性。

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全自動HMDS預處理系統：帶有可自動吸取添加HMDS功能，智能型的程式設定，一鍵完成作業。HMDS氣體密閉式自動吸取添加設計，真空箱密封性能佳，確保HMDS氣體無外漏顧慮。